種類

Clean room／無塵室／潔靜室

無塵室／潔靜室種類

1.亂流方式
(TURBULENT FLOW)

天花板的一部份,設置HEPA過濾,清淨空氣由地板下方回風

(清淨度:CLASS1,000100000)
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2.垂直層流方式
(LAMINAR FLOW)

天花板完全以HEPA過濾覆蓋,清淨空氣由地板的回風口,呈垂直方向回風(清淨度:CLASS1〜100)2.jpg

3.水平層流方式
(CROSS FLOW)

一邊牆壁全面設置HEPA過濾路,清淨空氣由對邊牆壁的回風系統依水平方向回風(清淨度:CLAS100〜1.000)3.jpg

4.清潔隆道方式
(CLEAN TUNNEL)

以HEPA或ULPA過濾器將製程區域或工作區100%覆蓋

(清淨度:CLASS1~100)4.jpg

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■工業用無塵室／INDUSTRY

空氣中的懸浮塵埃的量和大小來做控制對象。以生產DRAM來說,隨著集積度256Kbit，1Mbit高精密化，潔淨度由CLASS 100到CLA10下。粉塵對象由0.5微米移轉為0.1微米以下。

規     範

室內大小：3660m(1109坪)

溫        度：24土1.5C

溼        度：55+5%

正        壓：1.0〜1.5mmaa

潔  淨  度：1,000個/立方英呎

實際150個/立方英呎以下

目 的：液晶顯示器(LCD)

配合CLEAN BENCH

CLEAN BOOTH

HEPA FAN UNIT

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潔淨隧道型
潔淨隧道型(TUNNELCLEAN SYSTEMCLA10).jpg
全面下吹式層流潔淨室
全面下吹式層流潔淨室.jpg
BAY型潔淨風道中央通路
BAY型潔淨風道中央通路.jpg

■食品無塵室／FOODS

食品品質的提升、保存週期及賞味期間的延長與食品的販賣量的摘大或普及有很大關係食品加工業已廣泛地採用了BIOLOGICALC要求的條件有「溫度管理的容易」「防止微生物污染的平滑内装」「室内洗淨殺菌可能的非吸濕性内装」等。

規      範

室內大小：650m(197坪)

温        度：25+3C

溼        度：60+5%

潔  淨  度：50,000個/立方英呎

目的：營養食品之調製室、檢查室、包裝室

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■醫藥用無塵室／MEDICAL

除了控制座埃粒子外，以過濾或滅菌方式對生物粒子也加以控制。包括了製藥、醫學、醫療設施、食品等無菌無塵室，主要是在防止「目的物」受不潔空氣的污染，重點在於供應無菌無塵的乾淨空氣。

規       範

室內大小：500m(150坪)

溫        度：25土2C

溼        度：50土5%

潔  淨  度：10,000個/立方英呎

目的：
製藥之秤量室、檢查室、PTP包裝室、分裝室

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